半导体生产需要使用大量的超纯水,生产一张12寸的硅片,要用掉8吨水,能装满一台洒水车。一个大型Fab工厂,在半导体制造过程中每天需使用5～6万吨水,接近一个百万人口城市每天的用水量,是名副其实的“水老虎”。一些半导体企业曾因难过“水”关,而不得不此削减用水量。因此当下半导体生产不仅对超纯水的纯度要求极高,对水的循环利用要求也极度苛刻。

半导体工厂水处理工艺复杂,再利用难度大

半导体行业需要用到大量的化学原料和重金属元素,产生的废水根据污染物的不同,可以分为含氨废水,含氟废水,研磨废水,酸碱废水,有机废水,洗涤废水等等,半导体生产过程中的废水收集与处理种类纷繁复杂,为循环再利用的工艺带来了极大的难度。

典型的半导体制程机台采用不同的清洗工艺,会分流出包含氢氟酸废水、制程洗涤废水、酸性废水、碱性废水、TMAH废水、研磨废水、研磨含铜废水等36种不同含量的废水。废水分流之后,通过氢氟酸废水收集、尾气洗涤废水收集、酸性废水收集、碱性废水收集等至少12种收集系统的回收,再针对不同废水类型,通过物理、生化、臭味去除等基本工艺进行酸碱废水处理、氨氮废水处理、TMAH废液回收、研磨废水处理、研磨铜废水处理等等,最终在实现水资源的循环利用(3.5次水再利用率)的同时,也完成了硫酸铵、氨水、石膏、TMAX、硫酸和铜棒等高价值资源的回收。

水处理技术突破,实现资源“循环增效”

一直以来,高频科技积极寻求水处理的技术突破,致力为半导体高端制造等行业客户,提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备,通过自研或联合研发的模式,不断提升半导体回用水系统及废水收集处理系统的工艺技术,实现水资源及其他相关资源的循环再生,帮助半导体企业节约成本,提升循环经济价值。

高频科技回用水系统及废水收集处理系统,可以帮助半导体企业减少废水量、减少用水量、减少能耗、减少化学品使用、减少设备使用损耗,通过保障环保指标、保障水制程回收率、保障微量元素回收利用来实现对绿色厂务水平的综合保障。

据了解,目前高频科技已经研发交付了超过30种可选回用水工艺技术,不断提升“制程回收率”,持续提升提升经济循环绩效,目前水制程回收率已经可以达到75%-90%。高频科技致力于让每一滴超纯水都可以循环再利用,助力企业自身提质增效,保障半导体企业可持续发展。

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