离子注入机、化学机械抛光设备、湿法设备……这些集成电路产业链条上的关键装备国产化正在经开区实现突破。不仅如此，今后5年，北京经开区还将确立集成电路全产业链的全国领导地位。

这一目标写入了《“十四五”时期北京经济技术开发区发展建设和二〇三五年远景目标规划》中。根据《规划》，到2025年，北京经开区地区生产总值将实现3800亿元以上，千亿级创新产业集群数量达到6个，实际利用外资规模突破20亿美元，数字经济营业收入年均增长15%左右。

昨天，在北京亦庄创新发布会上，“十四五”时期北京经济技术开发区发展建设和二〇三五年远景目标规划》对外发布。 北京日报记者 和冠欣摄

确立集成电路全产业链领导地位

离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备，难度仅次于光刻机。“目前我们已实现离子注入机全谱系产品国产化，可为芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。”经开区内企业电科装备战略计划部主任李进透露。

不仅如此，化学机械抛光设备(CMP)和湿法设备作为集成电路制造核心、关键设备，也取得了新突破。李进介绍，电科装备8英寸CMP设备国内市场占有率已达70%，12英寸CMP进入客户验证阶段，性能表现优异;湿法设备已进入到8英寸集成电路外延片加工和芯片制造领域。

作为全国集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域之一，经开区聚焦中芯国际、北方华创等龙头企业，形成了完备的集成电路产业链。“经开区始终坚持在服务服从国家战略中发展自己。”相关负责人介绍，“十四五”期间，经开区在产业链创新链上将进一步发力，以“白菜心”工程等重大攻坚项目为抓手，继续强化集成电路制造和装备环节优势，确立经开区在全国集成电路全产业链发展的领导地位。同时，将积极推动经开区信创园建设，开展北京网联云控式高级别自动驾驶示范区2.0建设，打造自动驾驶政策标准先行区，推动一批自动驾驶应用场景开放。

建成数字经济标杆城市先行区

2020年，经开区地区生产总值已突破2000亿元大关，预计到“十四五”末，经开区地区生产总值将突破3800亿元，跻身全市第一梯队，数字经济营业收入计划年均增长15%左右，建成全球数字经济标杆城市先行区。

经开区还将从产业发展全链条、企业发展的全生命周期出发来谋划设计改革，推动要素市场化配置改革取得重大进展，实现高水平制度型开放。紧抓“两区”建设战略机遇，经开区将促进全球高端资源要素加快集聚，“十四五”期间实际利用外资规模预计将突破20亿美元，国际人才公寓年均增速将保持在50%以上。

不仅如此，“十四五”期间，北京经开区城市建设还将取得新进展、社会文明程度得到新提高、生态文明建设实现新进步、民生福祉达到新水平、治理效能得到新提升。

每年落地“三城”科技成果超150项

备受关注的科技成果转化和技术创新方面，经开区将强化市场机制，深化“三城一区”主平台建设，每年落地“三城”科技成果转化项目150项以上;聚焦关键核心技术突破，以亦庄创新实验室为引擎，创新中心、中试基地和公共技术服务平台为依托，经开区将支持企业组建创新联合体，推动形成注重产业导向、市场导向的创新生态。

《规划》还提出，经开区要持续做好基本无“大城市病”的标杆，补齐新扩区域基础设施和公共服务短板，建设惠民之城;突出科技导向，发挥产业优势，推动智慧城市建设全面提速，高标准构建城市大脑，建设智慧之城;实施领跑碳中和行动，深化“无废城市”建设，推进韧性城市、公园城市建设，建设生态之城。

“到2035年，北京经开区将建成充分体现社会主义制度优越性的全球产业新城综合发展标杆。”经开区相关负责人说。

关键词： 北京经开区 创新产业集群 数字经济 集成电路